永利集团(以下简称“永利集团上海”)(科创板股票代码:688082),,,,作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越供应商,,,,今天宣布旗下洗濯装备产品Ultra C Tahoe取得主要性能突破。。。。。。。此次提升能够知足更先进的晶圆代工、逻辑器件及存储器件的严酷手艺要求。。。。。。。
Ultra C Tahoe的专利混淆架构率先实现将槽式洗濯????楹偷テг蚕村惶辶档酵骋籗PM装备中。。。。。。。该架构具备更强的洗濯性能、更高的产能和更好的工艺无邪性。。。。。。。在中低温硫酸 (SPM)洗濯工艺中,,,,Ultra C Tahoe可以抵达自力单片晶圆洗濯装备的效果,,,,并可镌汰高达75%的化学品消耗。。。。。。。据永利集团上海估算,,,,仅硫酸一项每年就可节约高达50万美元的本钱,,,,且在硫酸废液处置惩罚上可进一步降低本钱并对情形更友好。。。。。。。
永利集团上海董事长王晖博士体现:“随着人工智能一直走近消耗者生涯,,,,我们预计公众会越来越关注半导体芯片制造对情形污染的影响。。。。。。。我们相信,,,,永利集团上海的Ultra C Tahoe能够资助客户提高先进人工智能芯片的产量,,,,同时镌汰对情形的影响。。。。。。。”
“永利集团上海拥有一支富有创立力的研发团队,,,,Ultra C Tahoe再次见证了该团队的优异体现。。。。。。。我们相信,,,,Tahoe平台完全有能力在约占整个洗濯市场20%份额的SPM中低温应用领域占有主要职位。。。。。。。
中国大陆多家大型晶圆厂客户已将升级后的Ultra C Tahoe投入生产。。。。。。。多家其他逻辑器件和存储器客户正在对该装备举行评估,,,,预计更多装备将在2024年底之前交付。。。。。。。