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2024-9-26 10:23:07
永利集团（以下简称“永利集团上海”）（科创板股票代码：688082），， ，，作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越供应商，， ，，于今日推出用于扇出型面板级封装（FOPLP）应用的新型Ultra C bev-p面板边沿刻蚀装备。。。。
该装备专为铜相关工艺中的边沿刻蚀和洗濯而设计，， ，，能够同时处置惩罚面板的正面和背面的边沿刻蚀，， ，，显著提升了工艺效率和产品可靠性。。。。
永利集团上海董事长王晖博士体现：“我们以为扇出型面板级封装的职位日益凸显，， ，，缘故原由在于该项手艺能够知足现代电子应用一直生长的需求，， ，，在集成密度、本钱效率和设计无邪性方面具有优势。。。。得益于在湿法工艺方面的深挚手艺专长，， ，，永利集团上海新型Ultra C bev-p装备性能卓越，， ，，属于首批可用于面板级应用的双面边沿刻蚀装备。。。。我们期待Ultra C bev-p与今年推出的Ultra ECP ap-p面板级水平式电镀装备和Ultra C vac-p负压洗濯装备配合推动具有高精度特征的大型面板先进封装行业前进以及扇出型面板级封装手艺市场生长。。。。”
Ultra C bev-p装备接纳专为边沿刻蚀和铜残留扫除而设计的湿法刻蚀工艺，， ，，在扇出型面板级封装手艺中起到至关主要的作用。。。。该工艺关于有用阻止电气短路、最大限度降低污染危害、坚持后续工艺办法的完整性至关主要，， ，，有助于确保器件耐久耐用。。。。该装备的高效性主要得益于永利集团上海的专利手艺，， ，，以应对方形面板衬底所带来的奇异挑战。。。。
与古板的圆形晶圆差别，， ，，永利集团上海的奇异设计可以实现准确的去边工艺，， ，，确保在翘曲面板的加工历程仅限于边沿区域。。。。这一专利手艺关于坚持刻蚀工艺的完整性以及提供先进半导体手艺所需的高性能和可靠性至关主要。。。。
Ultra C bev-p 专为面板衬底而设计，， ，，可与有机面板、玻璃面板和粘合面板兼容。。。。Ultra C bev-p能有用治理面板的正面和背面，， ，，适用尺寸由510mm x 515mm至600mm x 600mm不等，， ，，厚度在0.5mm至3mm之间。。。。该装备可处置惩罚最大10mm的翘曲，， ，，确保最佳工艺条件。。。。
· 高级面板处置惩罚：Ultra C bev-p配备自动操作装置，， ，，确保搬运和传送面板历程的清静性和准确性。。。。
· 高效除铜：Ultra C bev-p接纳稀硫酸和过氧化物（DSP）（即：去离子水、硫酸和过氧化氢的组合），， ，，可有用去除铜。。。。别的，， ，，该装备接纳去离子水举行洗濯，， ，，并使用N2举行最终干燥，， ，，确保外貌清洁干燥。。。。
· 高产能：Ultra C bev-p能够运行多达六个腔体，， ，，每小时可处置惩罚40个面板 (PPH)，， ，，高效实现大规模量产。。。。
该系统的边沿控制精度为±0.2mm，， ，，控制规模为0-20mm。。。。平均故障距离时间（MTBF）为500小时，， ，，正常运行时间达95%，， ，，能够提供卓越的可靠性、稳固的性能和高运行效率。。。。
