永利集团

永利集团上海宣布获得美国主要国际半导体制造商的SAPS单片洗濯装备订单

2021-12-2 17:30:34

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         永利集团(以下简称永利集团上海)（科创板股票代码：688082）， ，，，， ，，一家为半导体前道和先进晶圆级封装（WLP）应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商， ，，，， ，，今天宣布从美国一家主要国际半导体制造商处获得两份型号为Ultra C SAPS V的12腔单片洗濯装备订单。。。所涉两台装备预计均将装置于该客户的美国工厂中， ，，，， ，，用于其先进制程。。。第一份订单是一台评估装备， ，，，， ，，用于进一步验证装备的洗濯性能， ，，，， ，，并最终确定装备的详细设置， ，，，， ，，妄想于2022年第一季度交付。。。第二份订单是一台量产装备， ，，，， ，，供其量产线使用， ，，，， ，，妄想于2022年第二季度交付。。。

    永利集团上海董事长王晖博士体现：“这些订单意义重大， ，，，， ，，标记着永利集团上海将客户群扩大到又一个国际主要制造商。。。同时也批注永利集团市场战略取得了乐成：我们自己研发的差别化手艺首先在多个亚洲的要害客户端举行验证， ，，，， ，，验证乐成后， ，，，， ，，我们再将其推广向全球的一流制造商。。。”王晖博士称：“该制造商之以是选择永利集团上海的解决计划， ，，，， ，，一定水平上是基于认可永利集团上海的洗濯装备能力可知足其先进工艺性能要求。。。我们相信， ，，，， ，，这两台兆声波装备验证和应用开发的乐成， ，，，， ，，将能带来与该客户以及美国其他主要客户相助的更大商机。。。这是继突破韩国大客户海力士， ，，，， ，，以及今年进一步突破国际主流客户、国际IDM客户和亚洲主流客户在华工厂之后， ，，，， ，，永利集团上海全球化战略的又一个里程碑。。。”
 

    永利集团上海自创的空间交变相位移（SAPS）晶圆洗濯手艺， ，，，， ，，在兆声波爆发器和晶圆之间的间隙中接纳兆声波的交替相位转变， ，，，， ，，与前几代兆声波晶圆洗濯装备中使用的牢靠兆声波爆发器差别， ，，，， ，，SAPS手艺能够在晶圆旋转时移动或倾斜爆发器， ，，，， ，，使兆声波能量匀称地转达到晶圆（纵然晶圆有翘曲）上的所有点。。。SAPS工艺比古板兆声波洗濯工艺更高效， ，，，， ，，不会造成质料损失或影响晶圆外貌粗糙度， ，，，， ，，可实现更彻底、更周全的清洁。。。该手艺已在1xnm DRAM装备及其他设惫亓到验证。。。

 
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